烘干

多品种小批量12寸高精度光刻机交付客

发布时间:2022/12/2 8:32:29   

西安顺星电子在疫情期间排除万难,又为客户交付一台高精度光刻机!为中国高端器件制造努力!!!

什么是光刻机

光刻机(MaskAligner)又名:掩模对准曝光机,曝光系统,光刻系统等,是制造芯片的核心装备。它采用类似照片冲印的技术,把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上。一般的光刻工艺要经历:

硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀等工序。

Photolithography(光刻)意思是用光来制作一个图形(工艺);在硅片表面匀胶,然后将掩模板上的图形转移光刻胶上的过程将器件或电路结构临时“复制”到硅片上的过程。

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